多晶铸锭方坩埚喷涂及烧结作业要害进程CTQ1 新能源

  多晶铸锭方坩埚喷涂及烧结作业要害进程CTQ1 新能源

  环境影响评价陈述公示:万只多晶硅铸锭用石英陶瓷坩埚迎宾路南段东侧民营园核晶陶环评陈述

  本工序是在坩埚壁涂上氮化硅并烧结使粉状氮化硅构成细密层，避免高温下硅料和坩埚（SiO2）发生反响，增强氮化硅在坩埚上的附着力。构成的细密层抗冷热的冲击才能十分强，有用的搬运铸锭工艺进程发生的热应力。最终卸锭时便利坩埚的掉落。烧结是使资料取得预期的显微结构以使资料功能充沛的发挥的要害工序。

  坩埚预热20-30min，喷涂运用德国氮化硅要求喷涂时温度为55-70℃，

  涂层均匀，显现淡黄色，无显着的色彩改变，无白点、白片，无气泡，无掉落及爆皮现象，无裂纹。